使用SEMulator3D工艺步骤进行刻蚀终点探测 作者：泛林集团 Semiverse Solutions 部门软件应用工程师 Pradee…
2024-01-22
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刻蚀
来源： 国家纳米科学中心 近日，中国科学院国家纳米科学中心刘新风团队与北京大学、北京理工大学研究团队合作…
2022-09-09
作者：Vahid Vahedi 高级副总裁兼刻蚀事业部总经理 ，泛林集团（Lam Research） 增加电路密度而不必移动到新…
2022-01-25
来源：Lam Research—— SEMulator3D中可视刻蚀特征提供了一种模拟与现实刻蚀腔室接近的刻蚀速率的方法在干法…
2021-11-15
