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     首页 > 新闻资讯  > 制造与封装 > MEMS

MEMS

微电子学院卢红亮教授课题组在新型MEMS基ppb级硫化氢气体传感器研究中取得进展

来源:复旦大学微电子学院近日,复旦大学微电子学院卢红亮教授课题组首次结合热氧化工艺、原子层沉积(ALD)工艺…

2022-12-09

深海MEMS气相色谱仪完成南海海试

来源:上海微系统与信息技术研究所  中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室研究员冯…

2022-09-06

MEMS及其发展趋势(三)

原创: 开云网页入口下载 纳米技术是在原子或分子水平上操控物质的能力,以便我们在纳米尺度上进行制造。通常有两种…

2022-03-22

MEMS及其发展趋势(二)

原创:开云网页入口下载 目前,MEMS集成技术相对简单,它通常涉及单个分立微传感器和微执行器、单个或多个与电子装…

2022-03-08

MEMS及其发展趋势(一)

原创:开云网页入口下载 微机电系统或称MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems),是用微加工技术制造的小型化机械…

2022-03-08

压电MEMS驱动超表面透镜,低电压下实现大位移变焦

来源:麦姆斯咨询殷飞 MEMS研究人员开发出经济型可变焦超表面透镜,有望用于便携式医疗诊断器械和微型相机等应…

2022-03-01

SiTime的MEMS时序解决方案提高无线充电速度

来源:《开云网页入口下载 -SiSC》2021年12月/2022年1月期刊MEMS硅时钟系统解决方案市场领先者SiTime公司推SiT3901…

2022-02-28

MEMS的发展趋势

物联网在半导体中的日益普及、对智能消费电子和可穿戴设备的需求不断增加以及工业和家庭中自动化的日益普及是…

2022-02-17

一文读懂MEMS技术4大主要分类及应用领域

来源:炜盛传感、传感器专家网MEMS传感器是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十…

2022-02-10

本期内容

2024年 10/11 月

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